Fertigungsanlagen in Vakuum- und Reinraumumgebungen sind hochsensibel, da selbst mikroskopisch kleine Partikel Reibungs- und Positionierungsfehler verursachen können. Der beste Weg, die Sauberkeit von Schmiermitteln zu gewährleisten, ist die Ultrafiltration, um mikroskopisch kleine Partikel in einem Schmiermittel zu reduzieren. Wir können Fette und Öle ultrafiltrieren, um mögliche Verunreinigungen für Halbleiteranwendungen zu reduzieren.
Die Ausgasung ist mit Verdampfung vergleichbar; es handelt sich um die Freisetzung kleiner Molekülteile aus einer Flüssigkeit oder einem festen Material. Verdampfungsverluste beschleunigen sich beim Betrieb im Vakuum und beeinträchtigen mit der Zeit die Integrität eines Schmierstoffs. Schmierstoffe mit geringer Ausgasung haben einen geringeren Materialverlust und gewährleisten eine länger anhaltende Schmierung. Ausgasende Moleküle können auch auf Oberflächen kondensieren und Wafer, Verarbeitungsgeräte und andere empfindliche Komponenten verunreinigen. Die Ausgasung von Schmierstoffen wird als Gesamtmassenverlust (TML) und gesammelte flüchtige, kondensierbare Stoffe (CVCM) gemäß ASTM E595 gemessen. Unsere Schmierstoffe werden nach dieser Norm getestet, um die von der Halbleiterindustrie festgelegten strengen Ausgasungsgrenzwerte einzuhalten.
Dynamische Partikelbildung findet statt, wenn Verunreinigungen aus einem geschmierten Kugelumlaufspindel-, Lager- oder Getriebesystem in die Betriebsumgebung gepresst oder ausgestoßen werden. Zu diesen Verunreinigungen können Grundölbestandteile, Verdickungspartikel, Additive usw. gehören, die durch Rollen, Gleiten oder eine Kombination aus beidem aus dem Schmierfett freigesetzt werden. Mit unserem firmeneigenen Prüfverfahren und -gerät können wir die Partikelbildung unter diesen dynamischen Bedingungen messen.
Ein Schmierstoff muss in der Lage sein, die mechanischen Komponenten bei hohen Temperaturen zu schützen, ohne zu verdampfen. Ausgasungen sind bei hohen Temperaturen wahrscheinlicher, da der Dampfdruck steigt. Viele unserer Vakuum- und Reinraumschmierstoffe sind für Temperaturen von bis zu 250 °C ausgelegt.
Vorteile von speziellen Metallbearbeitungs- flüssigkeiten
FUCHS bietet nicht nur neueste HiO/GRADE 1 und GRADE 2 zertifizierte und von ASML- und DMG MORI freigegebene Kühlschmierstoffe, sondern auch kompatible Reinigungs- und Korrosionsschutzlösungen für die gesamten entsprechenden Produktionsprozesse.
Produkt | Typ | Halbleiter-bezogene Freigaben | Merkmale |
ECOCOOL GLOBAL 1000 | Emulsion | ASML GRADE 2-Anwendung | Zulassungen für die Luft- und Raumfahrt Übertraf die Leistungen etablierter Produkte Nachhaltiges Produkt Global verfügbar Produkt von vielen Großkunden GROB und DMG MORI getestet und zugelassen Problemlöser (Leistung, Schaum, etc.) Multimetallkompatibel |
Product | Typ | Halbleiter-bezogene Freigaben | Merkmale |
ECOCOOL SCE-IDM | Halbsynthetische Lösung - HiO unkritische Formulierung | Zugelassen von DMG MORI | Maßgeschneidert für Grade 1 Anwendungen Hervorragende Schmierung und Leistung Sehr gute Verträglichkeit mit Aluminiumlegierungen 2024, 5083, 6061, 7050, 7075 Geeignet für die Gelbmetallbearbeitung Hervorragende Emulsionsstabilität / geringe Schäumungsneigung Wenig Hautirritation und hohe Materialverträglichkeit durch niedrigen pH-Wert |
ECOCOOL SCS-IDM | Vollsynthetische Lösung - HiO unkritische Formulierung | Zugelassen von DMG MORI | Maßgeschneidert für Grade 1 Anwendungen Hohe Schmier- und Leistungsfähigkeit Sehr gute Verträglichkeit mit Aluminiumlegierungen 2024, 5083, 6061, 7050, 7075 geringe Schaumneigung Wenig Hautirritation und hohe Materialverträglichkeit durch niedrigen pH-Wert |
Das RENOCLEAN Produktprogramm von FUCHS umfasst Reiniger für eine große Anzahl unterschiedlicher Verfahren und Einsatzfälle und sorgt für überzeugende Reinigungsleistungen bei einer hohen Wirtschaftlichkeit.
Die RENOCLEAN-Reiniger für den professionellen Einsatz gerade in der metallbearbeitenden Industrie zeichnen sich durch eine hohe Waschwirkung, reibungslose Prozessabläufe und sparsamen Einsatz aus.
Mit ANTICORIT, bietet FUCHS eine breite Auswahl an unterschiedlichsten Korrosionsschutzmitteln.
Die ANTICORIT Produkte von FUCHS sind temporäre Korrosionsschutzmittel, die sich bei Bedarf einfach und ohne Beeinträchtigung der zu schützenden Oberflächen wieder entfernen lassen.
